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顶部防反射涂层材料系列应用于超高分辨率图形加工的顶部防反射涂层在超高分辨率下，有必要使用系列改善光刻胶线宽，并降低薄膜干涉造成的驻波效应特征适用于各种高解像度线光刻胶提高了光刻胶表面的亲水性，有效地减少了显影引起的缺陷水溶性溶液，因此适于加入现有的工艺中参考工艺条件条件涂布光刻胶前烘涂布前烘曝光曝光
发布日期：2026/5/23 1:33:37